Treść książki

Przejdź do opcji czytnikaPrzejdź do nawigacjiPrzejdź do informacjiPrzejdź do stopki
ZESZYTY
NAUKOWE
POLITECHNIKI
POZNAŃSKIEJ
Nr7
BudowaMaszyniZarządzanieProdukcją
2007
PAWEŁANDRAŁOJĆ
ANALIZAMOŻLIWOŚCIPOMIARÓWNANOTOPOGRAFII
Rozwójtechnologicznywymuszawmetrologiikoniecznośćpomiaruchropowatościowyso-
kościachmieszczącychsięwskalinano.Corazczęściejpotrzebnejestuzyskanienietylkoparame-
trów2D,aletakżeobrazupowierzchni.Wartykuleprzedstawionoporównaniemetodpomiaru
nanotopografiionajwiększejpionowejrozdzielczości,wktórychwykorzystujesiętakieurządze-
nia,jakmikroskopysondyskanującej,interferometryiprofilometry.
Słowakluczowe:AFM,STM,nanotopografia,VSI,PSI
1nWPROWADZENIE
Pierwszymurządzeniemskonstruowanymspecjalniedopomiarunanotopo-
grafiipowierzchnibyłzbudowanyw1982r.przezG.BinnigaiH.Rohrera
wlaboratoriumIBMwZurichutunelowymikroskopskaningowy[1].Miałon
służyćdoobserwacjiwskalinano
powierzchnitlenkówmetaliużytych
jakoizolatorwzłączuJosephsona.
Wciągunastępnychlatopracowano
wielerodzajówmikroskopówzson-
dąskanującą(SPM)(rys.1),które
miałyzazadanierozszerzeniemoż-
liwościbadaniananotopografii.
Napoczątkulat90.pojawiłysię
urządzeniaumożliwiającepomiary
zrozdzielczościąpionowązbliżoną
dorozdzielczościSPM(rys.2),dzia-
łającychzwykorzystanieminnych
Rys.1.Rodzinamikroskopówzsondą
zjawiskfizycznych-m.in.interfe-
skanującą(SPM)
rencjiświatłajakofalielektroma-
Fig.1.Thefamilyofscanningprobemicro-
gnetycznej.
scopes