Treść książki
Przejdź do opcji czytnikaPrzejdź do nawigacjiPrzejdź do informacjiPrzejdź do stopki
SPISTREŚCI
Wykazsymboliiskrótów.......................................
7
Skrótynazwzwiązkówchemicznych..........................
7
Symboleiskrótymetodiwielkościfizycznych..................
9
Wstęp......................................................11
1.Chemiczneosadzaniezfazygazowej(CVD)....................13
1.1.CharakterystykametodyCVD...........................13
1.2.ZwiązkichemicznestosowanejakoprekursoryCVD........18
1.2.1.Podziałicharakterystykaprekursorów..............20
1.2.2.PrekursorysrebrastosowanewtechnikachCVD......26
1.2.3.Prekursorynanowarstwditlenkutytanu(IV).........28
1.2.4.ZwiązkikoordynacyjneAg(I)iTi(IV)zligandami
karboksylanowymijakonowagrupaprekursorów
CVDmetalicznegosrebraiditlenkutytanu..........30
1.2.4.1.Otrzymywanie,charakterystykastrukturalna
iwłaściwościtermicznekarboksylanów
srebra(I)orazichkompleksów
ztrzeciorzędowymifosfanami..............31
1.2.4.2.μ-oxoalkoholanokarboksylanowekompleksy
tytanu(IV)...............................38
2.Celprowadzonychbadań....................................48
3.Metodykabadańzwiązkówchemicznychstosowanychjako
prekursoryCVD
.........................................51
3.1.MetodyanalitycznestosowanedobadaniaprekursorówCVD51
3.2.ZastosowaniespektroskopiiIRdoocenyprzydatności
związkówchemicznychwprocesachCVD.................53
3.3.Aparaturaimetodybadawczestosowane
weksperymentachCVD................................57
