Treść książki
Przejdź do opcji czytnikaPrzejdź do nawigacjiPrzejdź do informacjiPrzejdź do stopki
2.TECHNIKISTOSOWANEWPOMIARACHNIERÓWNOŚCI
23
Problememjestnietylkosamakrzywiznawierzchołka,alerównieżjejlokalnezmia-
ny[1763].Stożkimająpromienieod2do10pm,apiramidyzakończonesąpowierzch-
niąpłaskąowielkości2-2,5pm.Kształtstandardowejkońcówkipomiarowejorazjej
obrazpouszkodzeniuprzedstawiononarys.4.Uszkodzeniakońcówkiprowadządo
wzrostuwartościpromieniazaokrągleniaostrza(spłaszczeniewierzchołka)iprzeztodo
mniejszychwartościparametrówchropowatości.Wwarunkachlaboratoryjnychmożna
osiągnąćznaczniemniejsząwartośćpromieniazaokrągleniakońcówki,jednakimmniej-
szyjesttenpromień,tymwyższykosztprodukcjikońcówkiiniższatrwałość.Mimoto
wliteraturzemożnaznaleźćprzykładseryjnejprodukcjikońcówekdoprofilometrów
stykowychopromieniuzaokrągleniawierzchołkaod50nm[1999].Wyglądtakiejkoń-
cówkipokazanonarys.5.Rzeczywistywpływkątawierzchołkowegonapoprawność
profilu(naogółstosowanesąelementyokąciewierzchołkowym900lub600)jeststo-
sunkowoprostydoobliczenia.Żebykąttenmiałwpływnaodwzorowaniechropowato-
ści,kątzboczaprofilumusiałbybyćwiększyodpółkątawierzchołkowegokońcówki
pomiarowej(450lub300).Oznaczałobytoistnienieniewykrywalnychwgłębieńwra-
machodstępupróbkowania,któregowartośćmusiałabywynosićok.0,05pm.Wprakty-
cenp.dlatypowejpowierzchniszlifowanejwartościtesą20-50razywiększe.Wynika
stądwniosek,żekątwierzchołkowysporadyczniefiltrujemierzonenierówności.Nie-
mniejjednakstykowakońcówkapomiarowamauśredniającedziałaniefiltrujące.Polega
ononaniepenetrowaniuwąskichmikroszczelinlubnierównościopodziałcemniejszej
odpromieniaigłypomiarowej.Wpracachsymulacyjnychopracowanokinematyczny
idynamicznyalgorytmkompensacjiskończonychwymiarówkońcówkipomiarowej
[379].Dozastosowańspecjalnych,takichjaknp.pomiarchropowatościnaostrychkra-
wędziach,przeznaczonesąkońcówki,wktórychzamiastostrzywkształcieigływyko-
rzystujesiętzw.ostrzatoporkowe.
a)
b)
Rys.4.Końcówkapomiarowapoprawna(a)iuszkodzona(b)
Rys.5.Końcówkaprofilometruopromieniuzaokrągleniawierzchołka50nm
