Treść książki
Przejdź do opcji czytnikaPrzejdź do nawigacjiPrzejdź do informacjiPrzejdź do stopki
2.TECHNIKISTOSOWANEWPOMIARACHNIERÓWNOŚCI
31
Wpomiarachstykowychnierównościpowierzchniopróczprofilometriipróbowano
wykorzystywaćrównieżwspółrzędnościowemaszynypomiarowe,czegoprzykładem
jestpracaGolzaiin.[540].Wedługautorówjaknaraziemetodatajesttrudnadowdro-
żeniazewzględunazbytdużenaciskiizbytmałąrozdzielczośćmaszynywporównaniu
dowymagańobowiązującychprzypomiarachchropowatości.Współrzędnościowąma-
szynępomiarowądopomiarunierówności3DwykorzystalirównieżOsannaiDurakbasa
[1220].Wtymprzypadkugłowicapomiarowabyłainstalowanatakjaktradycyjny
trzpieńzkulką,ajakoprzesuwywykorzystanonapędymaszyny.Podobnąaplikacjępo-
kazaliZaborskiiTubielewicz[1985],choćzamiastrzeczywistejtopografiiuzyskanora-
czejlosowewspółrzędnepunktówpłaszczyznyiwefekciemocnowątpliwąwierność
odwzorowania.Bradleynatomiastzastosowałsensoroptycznydopomiaruchropowato-
ścipowierzchninawspółrzędnościowejmaszyniepomiarowej[172].Bardzointeresują-
cąkonstrukcjęzaprezentowałzespółkierowanyprzezDeChiffre’a[360,610].Wyko-
rzystalionimikroskopsiłatomowychzamocowanyjakogłowicawspółrzędnościowej
maszynypomiarowej.WtensposóbpołączylirozdzielczośćAFMzelastycznością
CMM.Całysystemstosowanybyłdopomiaruniewielkichnierównościnabardzodu-
żychprzedmiotach.Mierzeniechropowatościwspółrzędnościowąmaszynąpomiarową
majednakzasadnicząwadę:takiepomiarysąznaturywolne,aczaspracymaszynyjest
drogi,coskłaniakustwierdzeniu,żelepszymrozwiązaniemjestoddzielnestosowanie
maszynypomiarowejiprofilometruniżłączeniefunkcjitychdwóchurządzeń.Można
natomiastuwzględniaćwpływchropowatościprzypomiarachwspółrzędnościowych.
Takąstrategię,opartąnasekwencjiHammersleya,zaprezentowaliLeeiin.[902].
Pozostajejeszczezastanowićsię,najakimetapierozwojujestobecnieprofilometria
stykowa,cozmieniłosięwprzyrządachkonstruowanychwspółcześniewstosunkudo
ichodpowiednikówzlat80.ubiegłegostulecia.Przedewszystkimwspółczesneopro-
gramowanieumożliwiapomiarok.300parametrówchropowatościprofiluikilkudzie-
sięciuparametrówtopografii.Nierównościmożnaanalizować,wykorzystującróżnefil-
try,przyróżnychprędkościachprzesuwuidlaróżnychodstępówpróbkowania.Można
jemierzyćnadługoścido200mmiszerokoścido100mmprzybłędachprowadzeniana
poziomieułamkamikrometra,zdalsząmożliwościązastosowaniaukładówCAA,czyli
komputerowegowspomaganiadokładności.Prowadnicajestwtedymierzonainterfero-
metremlaserowym,ajejbłędyzapamiętywanesąwsystemiemikroprocesorowym
iużywanedokorekcjiwskazań.Pozatymprzyrządylaboratoryjneoferujączęstomożli-
wośćpomiaruchropowatościwzakresiedomilimetrairozdzielczościodkilkunanome-
trówalbokonturuwzakresiedokilkudziesięciumilimetrówprzyrozdzielczościod50
nm,zmożliwościąalternatywnegopomiarupozmianiegłowicy,copokazanonarys.11.
Bardziejzaawansowanąopcjąjestzastosowaniejednejgłowicymierzącejwwiększym
zakresie(konturichropowatośćjednocześnie).Końcówkętakiejgłowicyprzedstawiono
narys.12.Jejzakrespionowywynosi6mmprzyrozdzielczości6nm.Ekranwyniku
pomiarupokazującyanalitycznemożliwości2Doprogramowaniazaprezentowanona
rys.13.Pokazanonanimfragmentśrubytocznejzanaliząkonturu,wykresemiwybra-
nymiparametramichropowatościzfragmentówprofiluiwykresembłędówpromienia.
Niesątogranicemożliwościwspółczesnychprofilometrów.Przyjrzyjmysięjednemu
znajbardziejobecniezaawansowanychprzyrządówstykowych,mogącemupracować
zarównowukładzie2D,jaki3D.Maonzakres24mmprzyrozdzielczości0,6nm,co
jużwkraczawzakresmikroskopówskaningowych.Pozwalatonapomiarwszystkich
składowychnierównościwjednymprzejściu.
