Treść książki

Przejdź do opcji czytnikaPrzejdź do nawigacjiPrzejdź do informacjiPrzejdź do stopki
1.10.3.Plazmaniskotemperaturowawobróbcewarstwywierzchniej
Wyróbwprocesachplazmowychobróbkiwarstwywierzchniejjestczęstokatodą(-),
ścianykomoryorazekranystanowiąanodę(+),natomiastgazemplazmowymwypełnia-
jącymkomoręjestzwykleargon(gazszlachetnyjednoatomowy).Ciśnieniewkomorze
wynosizwykle1-13hPa.Krótkiczasimpulsu(ok.1s)wysokiegonapięcia1000-1500V
międzykatodąaanodąinicjujeplazmęprądustałegowkomorze.Jednocześnienastępuje
przepływprądumiędzyelektrodamiwywołanyprzemieszczaniemsiękationów(jonów
dodatnich)odanodydokatodyielektronówswobodnychodkatodydoanody.Zainicjo-
wanieprzepływuprądumiędzyanodąakatodąwgaziepowodujeszybkiezwiększenie
liczbyjonówdowartościodpowiadającejrównowadzedynamicznej-wynosikilka
procent.Pozostałeatomyicząsteczkigazuniezjonizowane.Jonytworząsiępodczas
kolizjielektronówprzyspieszanychwpoluelektrycznymzatomamiicząsteczkamigazu.
Odpowiadającestanowiustalonemuzmianynapięciainatężeniapolaelektrycznego
międzyelektrodamiprzedstawiononarys.1.6.Zmianatychwielkościjestnajwiększa
wprzylegającymdokatodywąskimobszarzeokreślanymciemnąprzestrzeniąCrooke-
saioznaczonymprzezL.Bezpośredniozatymobszaremtworzysięprzestrzeńjasna
ointensywnejbarwie.Przyczynąemisjiświatłaztegoobszaruelektronyatomów
przechodzącezpoziomówenergetycznychwyższychnaniższe,opuszczoneprzezwybite
elektrony.Dlategoemitowanepromieniowaniejestoczęstościcharakterystycznejdla
danegopierwiastka.Plazmawyładowaniajarzeniowegoozbliżonejcharakterystycejest
stosowanawprocesachPVDiPACVD.
a)
b)
Katoda
(ciemniaCrookesa)
Ciemniakatodowa
Potencjał,V
–1000
–500
0
L
Poświata
ujemna
Natężeniepola
elektrycznego
Potencjał,V
Pojaśnienie
anodowe
Natężenie
pola
elektrycznego
Anoda
Rysunek1.6.a)Strefywyładowaniajarzeniowego,b)zmianawartościpotencjałuUwwoltachinatężeniapolaelek-
trycznegoEmiędzyelektrodami
KationywplazmiewyładowaniajarzeniowegopodojściudoprzestrzeniCrookesa
gwałtownieprzyspieszone,przezgradientpotencjału,wkierunkupowierzchniobrabiane-
gowyrobustanowiącegokatodęiuderzająwniązenergiąowartościwystarczającejdo
36
1.OBRÓBKAWARSTWYWiERZCHNiEJ