Treść książki

Przejdź do opcji czytnikaPrzejdź do nawigacjiPrzejdź do informacjiPrzejdź do stopki
1.11.Magnetronoweźródłorozpylania
Częstodozwiększeniagęstościplazmyorazograniczeniaikształtowaniastrefyjejwystępo-
waniastosowanepolaelektryczneimagnetyczne.Jednymzczęściejstosowanychdotego
celuurządzeńjestmagnetron.Polamagnetycznewmagnetroniemająnaceluzamknięcie
naładowanychcząstekplazmywpobliżupowierzchnikatody.Elektronywpolumagne-
tycznymporuszająsiępospiralnymtorzewokółliniisiłpolamagnetycznego.Wymuszona
ichdłuższadrogaprowadzidozwiększenialiczbykolizjizatomamigazu,cozwiększaich
jonizację.Zwiększeniestopniajonizacjiatomówargonuwwynikuzastosowaniamagne-
tronupowodujezwiększenieszybkościwytwarzaniapowłok.Umożliwiatakżeutworzenie
plazmypodniższymciśnieniem.Rozpylaneatomytarczy,zewzględunabrakładunku
elektrycznego,nieoddziałujązpolemmagnetycznym.
1.12.Przewodnictwoelektryczne
Wwieluprocesachinżynieriipowierzchnistosujesięlubwystępujeprzepływładunków
elektrycznych.Dlategowydajesięcelowymscharakteryzowaniewjednymmiejscuno-
śnikówładunkówelektrycznychwposzczególnychrodzajachmateriałówisubstancjach
przewodzącychprądelektryczny.
Wyróżniasięzwykleelektryczneprzewodnictwoelektronowe,wktórymnośnikamiła-
dunkówelektrony,orazprzewodnictwojonowewskutekprzemieszczaniasięjonów.
Wmetalach,któredobrymiprzewodnikamiprąduelektrycznego,nośnikamiładunków
elektrony.Materiałyceramiczneowiązaniachjonowychprzewodząprądelektryczny
przezprzemieszczaniesięjonów.Jonywciałachstałychmogąsięprzemieszczaćtylko
mechanizmemdyfuzji.Stądprzewodnictwoelektryczneciałjonowychzwiększasięwykład-
niczowrazzpodwyższeniemtemperatury,awniskiejtemperaturzejestpomijalniemałe.
Wpółprzewodnikachnośnikamiładunkówelektrycznychelektronyorazdziuryelektro-
nowe.Natomiastwelektrolitachciekłychnośnikamiładunkówelektrycznychtylkojony,
gdyżwnichprzemieszczanieswobodnychelektronówniejestmożliwe.Plazma,uważanaza
czwartystanmaterii,jestwyjątkową,ponieważwniejnośnikamiładunkówelektrycznych
zarównoelektrony,jakrównieżjony.Zewzględunato,żeplazmajestelektrycznieobojętną,
tj.sumaładunkówdodatnichjestrównasumieładunkówujemnych,awystępujewniejduża
liczbaelektronówswobodnych,należywięcoczekiwać,żewplazmienierównowagowej
dominująjonyoładunkudodatnim(kationy),anieoładunkuujemnym(aniony).