Treść książki
Przejdź do opcji czytnikaPrzejdź do nawigacjiPrzejdź do informacjiPrzejdź do stopki
1.11.Magnetronoweźródłorozpylania
Częstodozwiększeniagęstościplazmyorazograniczeniaikształtowaniastrefyjejwystępo-
waniastosowanesąpolaelektryczneimagnetyczne.Jednymzczęściejstosowanychdotego
celuurządzeńjestmagnetron.Polamagnetycznewmagnetroniemająnaceluzamknięcie
naładowanychcząstekplazmywpobliżupowierzchnikatody.Elektronywpolumagne-
tycznymporuszająsiępospiralnymtorzewokółliniisiłpolamagnetycznego.Wymuszona
ichdłuższadrogaprowadzidozwiększenialiczbykolizjizatomamigazu,cozwiększaich
jonizację.Zwiększeniestopniajonizacjiatomówargonuwwynikuzastosowaniamagne-
tronupowodujezwiększenieszybkościwytwarzaniapowłok.Umożliwiatakżeutworzenie
plazmypodniższymciśnieniem.Rozpylaneatomytarczy,zewzględunabrakładunku
elektrycznego,nieoddziałujązpolemmagnetycznym.
1.12.Przewodnictwoelektryczne
Wwieluprocesachinżynieriipowierzchnistosujesięlubwystępujeprzepływładunków
elektrycznych.Dlategowydajesięcelowymscharakteryzowaniewjednymmiejscuno-
śnikówładunkówelektrycznychwposzczególnychrodzajachmateriałówisubstancjach
przewodzącychprądelektryczny.
Wyróżniasięzwykleelektryczneprzewodnictwoelektronowe,wktórymnośnikamiła-
dunkówsąelektrony,orazprzewodnictwojonowewskutekprzemieszczaniasięjonów.
Wmetalach,któresądobrymiprzewodnikamiprąduelektrycznego,nośnikamiładunków
sąelektrony.Materiałyceramiczneowiązaniachjonowychprzewodząprądelektryczny
przezprzemieszczaniesięjonów.Jonywciałachstałychmogąsięprzemieszczaćtylko
mechanizmemdyfuzji.Stądprzewodnictwoelektryczneciałjonowychzwiększasięwykład-
niczowrazzpodwyższeniemtemperatury,awniskiejtemperaturzejestpomijalniemałe.
Wpółprzewodnikachnośnikamiładunkówelektrycznychsąelektronyorazdziuryelektro-
nowe.Natomiastwelektrolitachciekłychnośnikamiładunkówelektrycznychsątylkojony,
gdyżwnichprzemieszczanieswobodnychelektronówniejestmożliwe.Plazma,uważanaza
czwartystanmaterii,jestwyjątkową,ponieważwniejnośnikamiładunkówelektrycznychsą
zarównoelektrony,jakrównieżjony.Zewzględunato,żeplazmajestelektrycznieobojętną,
tj.sumaładunkówdodatnichjestrównasumieładunkówujemnych,awystępujewniejduża
liczbaelektronówswobodnych,należywięcoczekiwać,żewplazmienierównowagowej
dominująjonyoładunkudodatnim(kationy),anieoładunkuujemnym(aniony).