Treść książki

Przejdź do opcji czytnikaPrzejdź do nawigacjiPrzejdź do informacjiPrzejdź do stopki
TABELA30010Wybranewłaściwościmateriałówpolimerowychstosowanychdowytwarzaniamikrosystemóworaz
metodyichobróbki
Polimer
PDMS
PMMA
PC
PS
COC
Temperatura
zeszklenia[OC]
-125do-122
100-122
140-148
92-106
90-180
Transmitancjawzakresie
widzialnym[%]
91
92
89
90
94
Biokompatybilność
Bardzodobra
Bardzodobra
Bardzodobra
Bardzodobra
Bardzodobra
Przepuszczalnć
gazów
Średnia
Niska
Wysoka
Bardzowysoka
Średnia
Metodyobróbki
Odlewanie,
grawerowanie
laserowe
Odciskanie,
grawerowanie
laserowe,
frezowanie
Odciskanie,
grawerowanie
laserowe,
frezowanie
Odciskanie,
grawerowanie
laserowe,
frezowanie
Odciskanie,
grawerowanie
laserowe,
frezowanie
COC-cyklicznykopolimerolefinowy,PC-poliwęglan,PDMS-poli(dimetylosiloksan),PMMA-poli(metakrylanmetylu),PS-polistyren
[Źródło:napodstawie1]
korzystywanewprocesachwytwarzaniamikrosyste-
mów.ŻywicaświatłoczułaSU-8stosowanajestwproce-
siefotolitografii,apolimery,takiejakPMMAlubPC,
mogąposłużyćdowykonaniapieczątekużywanych
wmetodachreplikacyjnych.
Poli(dimetylosiloksan)(PDMS)
ZewzględunaswojeszczególnewłaściwościPDMSjest
jednymznajczęściejwykorzystywanychmateriałówdo
wytwarzaniamikrosystemów.Zasadniczązaletątego
polimerujestmożliwośćodwzorowaniawnimmikro-
strukturzdokładnościąrzędudziesiąteknanometrów
zapomocąmetodyodlewu.PDMSjestbiernychemicz-
nie,jednaknajegopowierzchnimożedochodzićdoad-
sorpcjiniektórychzwiązków,np.białek.Zewzględuna
transparentnośćwszerokimzakresiepromieniowania
elektromagnetycznegoinisautofluorescencję,PDMS
jestmateriałemstosowanymwmikroukładach,wktó-
rychwykorzystujesiędetekcjęoptyczną.Jestonprze-
puszczalnydlagazówinietoksyczny,dlategomożnago
stosowaćwmikrosystemachprzeznaczonychdohodow-
likomórek.Poprzezaktywowaniejegopowierzchniza
pomocąplazmytlenowejmożnatrwalełączyćelementy
wykonaneztegomateriału,atakżePDMSzeszkłem,
Materiałykonstrukcyjnemikrosystemów
461